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 早稲田大学大学院情報生産システム研究科



  〒808-0135 福岡県北九州市若松区ひびきの2-7

 ◆研究装置

  (研究室の主な装置)
  ・ マイクロ波プラズマCVD装置
  ・ アンテナ型マイクロ波プラズマCVD装置
  ・ イオンビームスパッタ装置
  ・ 分子線エピタキシー装置
  ・ 高温高電圧下電気特性評価装置
  ・ 電気特性 (I-V等) 評価用プローバシステム
  ・ 真空アニール装置

 他に下記の様な共同利用施設を利用しています


  FAIS 共同研究開発センター
    (リゾグラフィ―、エッチング装置等)

  北九州市立大学計測・分析センター 
    (X線回折装置等)

バナースペース

植田研究室

〒808-0135
福岡県北九州市若松区ひびきの2-7

TEL: 093-692-5176
E-mail:k-ueda[AT]waseda.jp
 ([AT]から@に変更下さい)