Floating Zone炉(FZ炉)65号館 |
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フローティングゾーン法とは以下に示す様に ハロゲンランプからの光を回転楕円体ミラーによって集光し、 多結晶で作った試料棒の一部を高温にして融かし、 徐々にミラーを移動させ、 融けている部分をゆっくり冷やしていくことで大きな単結晶に変化させる方法である。 単結晶の成長速度であるミラーの移動速度は、 物質によって最適な値があり、 早く作るもので1時間数センチから、ゆっくり作るもので一日数ミリまで様々である。
冷却システム ガス(酸素、アルゴン水素、アルゴン)
棒がくるくる回っています。 |
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