研究設備

Facilities

走査型トンネル顕微鏡

量子力学的効果で流れるトンネル電流をフィードバック信号として、金属探針と試料表面との距離を一定に保つことが出来る装置です。原子スケールで尖った探針を用いることで、表面の原子ひとつひとつを観察することが出来ます。超高真空中で試料の温度を変えながら測定できる装置(OMICRON VT-STM)、分子の蒸着や光照射が可能な装置(PSI-NANONIS)、原子間に働く微弱な力をフィードバック信号とする原子間力顕微鏡としても動作する装置(JEOL –NANONIS STM/AFM)などを所有しています。

電流/電圧測定装置

シリコンウエハーなどの基板上に作製した素子の特性を測定するための装置です。素子とともに基板上に作製した測定用電極に金属のプローブ針を接触させて、外部の電流/電圧測定用の計測機器と電気的に接続します。電磁ノイズの影響を避けるために、装置本体は、シールドボックス中に設置されています。真空中で測定する装置では、70Kの低温から、600Kの高温まで、温度を変化させながらの測定も可能です。

成膜装置

酸化物や金属などの材料を基板上に蒸着するための装置です。蒸着源と基板との間にパターン加工されたメタルマスクを挿入することで、そのパターン通りの形状をした薄膜を形成することが出来ます。異なるパターン形状の薄膜を積層することで、簡単な素子構造を作ることも出来ます。電子ビームでルツボに入った材料を加熱して蒸着する電子ビーム蒸着装置と、プラズマ状にしたアルゴンのガスをターゲット材料に衝突させて蒸着するスパッタ装置を所有しています。

その他の装置

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)や低速電子線回折装置(LEED)などの観察装置、ワイヤーボンダーやスピンコーターなどの試料作製に用いる装置のほか、純水作製装置やドラフトチャンバーなどを所有しています。

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研究室所在地

〒169-8555 東京都新宿区大久保3-4-1
西早稲田キャンパス 51号館 8階808号室
連絡先:e-mail: thasega■waseda.jp (■を@に換えてメール送信下さい。)