走査型トンネル顕微鏡 超高真空走査型トンネル顕微鏡(2台)および大気中で動作する走査型トンネル顕微鏡/原子間力顕微鏡を所有しています。 成膜装置 電子ビーム蒸着装置、スパッタ成膜装置、抵抗加熱式蒸着装置、有機分子蒸着装置を所有しています。